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產品名稱

硅片

規格

3.2*1.9*0.85或其它尺寸均可加工

材質

單晶硅

崩 邊

<0.1mm

崩 角

<0.2mm

面 形
<λ/4@632.8nm
S1與S2面的平行度
<10弧秒
S1、S2面的光潔度
40-20

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